Hier ziet u hoe een elektronische vacuümpomp over het algemeen werkt:
Elektronenstraal pompen:
1. Elektronenpistool :Een elektronenkanon genereert een gefocusseerde straal van hoogenergetische elektronen.
2. Vacuümkamer :De elektronenbundel wordt naar een vacuümkamer geleid die het gas of de damp bevat die moet worden geëvacueerd.
3. botsing :Terwijl de elektronenbundel interageert met de gasdeeltjes, draagt deze zijn kinetische energie aan hen over, waardoor ze snel bewegen en met elkaar in botsing komen.
4. Ionisatie :Door botsingen kunnen sommige gasdeeltjes geïoniseerd raken, waardoor elektronen verloren gaan en positief geladen ionen ontstaan.
5. Extractie :Deze ionen worden vervolgens aangetrokken door negatief geladen elektroden of oppervlakken in de vacuümkamer en worden weggetrokken van het gas, waardoor ze effectief uit het systeem worden verwijderd.
Ionenval pompen:
1. Ionenbron :Een ionenbron, meestal een elektronenbundel of plasma, genereert ionen in de vacuümkamer.
2. Elektromagnetische velden :De vacuümpomp maakt gebruik van elektromagnetische velden (vaak een quadrupool-massaspectrometer) om de gegenereerde ionen op te vangen en binnen een specifiek gebied te beperken.
3. Selectieve verwijdering :De pomp kan selectief specifieke gassoorten of ionen verwijderen door de elektromagnetische velden aan te passen of spanning aan te leggen. Dit maakt selectieve filtering en zuivering van gassen mogelijk.
4. Pompactie :Naarmate de ionen worden opgesloten en opgehoopt in de val, neemt de gasdruk in de vacuümkamer af, waardoor een hoog vacuüm ontstaat.
Elektronische vacuümpompen worden veel gebruikt in diverse wetenschappelijke, industriële en onderzoekstoepassingen waarbij een schoon, olievrij en vaak kwalitatief hoogstaand vacuüm vereist is. Ze zijn vooral voordelig in ultrahoogvacuümsystemen (UHV), waar conventionele vacuümpompen verontreinigingen kunnen introduceren en het gewenste vacuümniveau kunnen belemmeren.
Elektronische vacuümpompen bieden verschillende voordelen, zoals:
1. Schone en olievrije werking :Ze vereisen geen smeermiddelen of afdichtingsmaterialen, waardoor het risico op terugstromen van olie of vervuiling van het vacuümsysteem wordt geëlimineerd.
2. Stille werking :Elektronische vacuümpompen zijn over het algemeen veel stiller dan mechanische pompen, omdat er geen bewegende delen bij betrokken zijn of overmatige trillingen ontstaan.
3. Compact en lichtgewicht :Elektronische vacuümpompen zijn vaak compacter en lichter in vergelijking met traditionele mechanische pompen, waardoor ze geschikt zijn voor toepassingen met beperkte ruimte.
4. Beheersbaarheid :Ze bieden nauwkeurige controle over het pompproces en het vacuümniveau, waardoor vacuümomstandigheden op maat mogelijk zijn.
Het is echter vermeldenswaard dat elektronische vacuümpompen duurder kunnen zijn en gespecialiseerde expertise vereisen voor onderhoud en bediening. Ze hebben ook de neiging om lagere pompsnelheden te hebben in vergelijking met mechanische pompen.
Samenvattend maakt een elektronische vacuümpomp gebruik van elektronische middelen, zoals elektronenstralen of ionenvangers, om een vacuüm te creëren door selectief gasdeeltjes of ionen uit een kamer te verwijderen, waardoor schone, olievrije en gecontroleerde vacuümomstandigheden worden geboden voor verschillende wetenschappelijke en industriële toepassingen. toepassingen.
